Nano-STIM und IBIC mittels Ionentracks

Übergeordnete Einrichtungen


Projektdetails

Projektleiter
Meijer, Jan Berend (Prof. Dr.)
Mitarbeiter
Dr. Sébastien Pezzagna, Ralf Wunderlich
Finanzierung
Haushaltsmittel (TG51, Overhead), Stiftungen
Weiterführung
ja

Als Maskentechnik können mit GeV Ionen in Mica erzeugte Ionentracks genutzt werden. Diese geätzten Ionentracks mit einem Durchmesser von einigen Nanometern können mit einem Aspektverhältnis von bis zu 1000 oder mehr hergestellt werden. Die Ionen können diese Tracks in einer Art Kanalführung durchqueren. Mit Hilfe dieser Masken können auch Ionen hoher kinetischer Energie (keV-MeV) kollimiert werden. Diese Methode kann somit genutzt werden, um die Strahlungsfestigkeit von Bauelementen zu testen oder mit hoher Ortsauflösung zu implantieren.


letzte Änderung: 26.07.2012

Kontakt

Felix-Bloch-Institut für Festkörperphysik
Grundmann, Marius (Prof. Dr.)
Linnéstraße 5
04103 Leipzig
Telefon: +49 341 97-32650
Fax: +49 341 97-32668
E-Mail

Filtern

Wählen Sie bitte das Berichtsjahr.



Suche


Weitere Informationen

Hinweis:

Beachten Sie bitte, dass auch das gewünschte Jahr eingestellt sein muss, damit die Projekte angezeigt werden.

Hier finden Sie die Forschungsberichte bis 2007 im alten Layout.